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Technical articlesKT-Z165M4LT精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái),臺(tái)面為φ30,臺(tái)面最高可升溫到最高400℃。臺(tái)面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針,特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。
該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)<5Pa分子泵可達(dá)<-3Pa。真空信號(hào)連接處使用真空電極信號(hào)接頭,保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測的器件方在加熱臺(tái)面,探針頂尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測試器件的引腳處,外部信號(hào)線連接測試儀器來測試電學(xué)信號(hào)。