產(chǎn)品中心
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CS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器數(shù)字式質(zhì)量流量控制器.高精度型,快響應(yīng)型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
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產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
CS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器數(shù)字式質(zhì)量流量控制器.高精度型,快響應(yīng)型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
CS200A 數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號:CS200-A型
產(chǎn)品系列:CS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品類型:高精度型,快響應(yīng)型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
型號 | CS200-A | |||||||||
閥類型 | 常開(流量規(guī)格≤30SLM) 或常閉 | 無 | ||||||||
流量規(guī)格(N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM | |||||||||
準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(<35% F.S.) | |||||||||
線性 | ±0.5% F.S. | |||||||||
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. | |||||||||
響應(yīng)時間 | ≤ 1sec | |||||||||
工作壓差范圍 | 0.05~0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.1~0.35MPa 10<流量規(guī)格≤30SLM 0.2~0.45MPa 30<流量規(guī)格≤50SLM | <0.02 MPa | ||||||||
溫度系數(shù) | 零點: ≤±0.05% F.S/℃; 調(diào)節(jié)時: ≤±0.1% F.S/℃ 流量規(guī)格≤30SLM; 調(diào)節(jié)時: ≤±0.2% F.S/℃ 流量規(guī)格>30SLM | |||||||||
耐壓 | 3MPa | |||||||||
漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | |||||||||
密封材料 | 氟橡膠; | |||||||||
工作環(huán)境溫度 | (5~45)℃ | |||||||||
輸入信號 | 數(shù)字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA | 無 | ||||||||
輸出信號 | 數(shù)字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA | |||||||||
零漂 | 在沒有零點校正時<0.6%F.S/年 | |||||||||
電源 | ±8 ~ ±16 VDC (雙極)或 +14 ~ +28 VDC (單極) | |||||||||
表面化學(xué)成分 | 常態(tài) | |||||||||
表面粗糙度 | 25 Ra | |||||||||
標準接頭形式 | 雙卡套 φ6;雙卡套 1/4´´;雙卡套 3/8´´;VCR1/4´´陽接頭;雙卡套φ3; 雙卡套 1/8´´;VCO 1/4";φ6(內(nèi))x1 軟管接頭; φ5(內(nèi))x1.5 軟管接頭; φ4(內(nèi))x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm;A 型密封接頭; | |||||||||
電源接頭形式 | D型9 針陽接頭;D 型 15 針陽接頭;DeviceNet 接頭; ProfiBus 接頭;模擬接頭 | |||||||||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg |
型號 | CS200-A | |
閥類型 | 常開(流量規(guī)格≤30SLM) 或常閉 | 無 |
流量規(guī)格(N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |
準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |
線性 | ±0.5% F.S. | |
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. | |
響應(yīng)時間 | ≤ 1sec | |
工作壓差范圍 | 0.05~0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | <0.02 MPa |
溫度系數(shù) | 零點: ≤±0.05% F.S/℃; 調(diào)節(jié)時: ≤±0.1% F.S/℃ 流量規(guī)格≤30SLM; 調(diào)節(jié)時: ≤±0.2% F.S/℃ 流量規(guī)格>30SLM | |
耐壓 | 3MPa | |
漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | |
密封材料 | 氟橡膠; | |
工作環(huán)境溫度 | (5~45)℃ | |
輸入信號 | 數(shù)字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA | 無 |
輸出信號 | 數(shù)字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA | |
零漂 | 在沒有零點校正時<0.6%F.S/年 | |
電源 | ±8 ~ ±16 VDC (雙極)或 +14 ~ +28 VDC (單極) | |
表面化學(xué)成分 | 常態(tài) | |
表面粗糙度 | 25 Ra | |
標準接頭形式 | 雙卡套 φ6;雙卡套 1/4´´;雙卡套 3/8´´;VCR1/4´´陽接頭;雙卡套φ3; | |
電源接頭形式 | D型9 針陽接頭;D 型 15 針陽接頭;DeviceNet 接頭; ProfiBus 接頭;模擬接頭 | |
重量 | 1 Kg | 0.8Kg |