真空微型探針臺應用與半導體測試變溫真空腔探針臺系統(tǒng)方案:高低溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境,以便測量分析溫度變化時芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環(huán)境中。
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